二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9282706 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一种工业级扩散炉及配件，设计为能够以优异的均匀性进行精确的热处理。该设备的最大加工面积为3英寸,可容纳各种基板,并具有精确的热响应,以确保稳定和一致的结果。具有氮气蚀刻、多区加热4、二次气体输入能力，提高了生产效率和重复性。TEL Alpha 303i Nitride具有TEL直接升力阻力加热和高温能力，温度范围为00°C至1400°C，温度均匀度± 1°C。该装置配有先进的控制器，可进行精确和监测的氮化物工艺。对源、目标和冷却剂输出进行集成的现场监控,可实现安全、准确的处理。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i氮化物还可以提供氮氧化物气体蚀刻、冷壁和多区加热，以增强蚀刻速率和加工均匀性。此外，Alpha 303i Nitride可以附加附件使用，进一步扩展其应用能力。可伸缩边缘环可用于帮助装载和卸载基板，以及将各种气源精确地输送到目标基板。此外，耦合器附件还提供一系列材料配置，如波导和平行板接口。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是那些希望加快氮化物处理速度的人的理想工具，同时仍然保持高度的精度和可重复性。TEL Alpha 303i Nitride结合了先进的控制器、高度均匀的温度和大量的附件功能,是一种用途广泛且可靠的工业级扩散炉和附件。