二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9404258 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride
ID: 9404258
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是生产半导体的工具。这个扩散炉利用两区反应堆,允许高温、氮气气氛和低压氮化。此外,该炉还配备了集成工艺控制设备(IPC),可实现精确、可重复的温度和气流控制,实现高通量和优良的质量控制。两区反应堆有一个电阻加热的上段和一个侧壁加热的下段,都有来自反应堆顶部和底部的独立温度控制。这项技术产生先进的氮化物外延层,用于制造电子设备。高温和氮气气氛使反应性气体进入腔室,有效地提供了所需的极端温度和氮化物。此外,可调节的侧壁加热确保了整个腔室的均匀性,从而实现了一致的薄膜工程.IPC系统是该扩散炉的主要特点.该装置包括先进的流动气体控制和监测,以及用于调节和计时氧化过程的数字控制机。这样可以确保每个过程步骤都达到最高标准,并提供无懈可击的质量控制过程。此外,IPC工具还支持各种配方和响应时间,从而实现卓越的吞吐量。TEL Alpha 303i氮化物是一种极耐扩散炉。它有一个铝室和一个高效的传热资产,允许均匀加热,最高温度为1050 °C,这使得它非常适合多种工艺,包括氮化物外延生长。该炉配有一系列配件,如SmartView相机和具有集成加热元件的石英反应堆,使氮化和氧化过程成为可能。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一种可靠易用的扩散炉,能够取得优异的效果。它是两区反应堆和IPC模型,能够实现精度和重复性,以及高吞吐量。此外,它还配备了石英反应堆和SmartView摄像头,可以进一步定制和使用炉子。因此,对于那些希望生产高质量氮化物外延层和先进设备的人来说,Alpha 303i氮化物是一个理想的入门级模型。
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