二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxide #293597095 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Oxide是一种扩散炉及其相关附件，用于硅片的热氧化。该炉的设计目的是在小型实验室和生产规模的作业中提供均匀的热氧化。它能够产生高纯度的氧化物，范围从单一设定温度到经过仔细调整的稳态氧化轮廓。利用立式壁炉结构控制氧化温度，利用位于晶片负载附近的质量流控制器对晶片进行高效热处理。该设备设计用于完美的热调节，提供稳态温度和非常低的热梯度横跨基板表面积。该炉热力学稳定，坚固耐用，制造成本和维护成本低。扩散炉包括几个特点，如独特的双轴驱动系统、可调节的逐区温度、压力控制器和数字温度/压力预设。双轴传动利用机械传动提供稳定的温度控制而不会出现温度过调或不稳定，而可调节的逐区温度则允许使用者在不同温度下同时处理硅片的不同区域。此外，压力控制器和数字温度/压力预设功能允许在氧化物沉积过程中精确控制压力和温度。TEL ALPHA-303I OXIDE的主要优点之一是简化了自动化。基于计算机的自动操作模式和车载实用程序提供了简单高效的操作和热氧化配方的设置。该单元还提供了工艺和设备参数的可追踪性，因为在扩散发生后对每个配方进行了详尽的分析。这确保了所有工艺参数的精确控制和记录，确保了最优产量和最优质量。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I OXIDE还包括一些安全特性，如在温度异常升高的情况下自动关闭和排气口报警以指示氧化炉异常。此外，机器可以手动或自动模式操作，允许用户灵活和安全。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I OXIDE是一种高效可靠的扩散炉，非常适合小型和大型热氧化过程，也适合生产优质、均匀和薄薄的氧化层。它提供了出色的热性能,允许温度稳定且热梯度低,从而提高了产生的质量和工艺产量。此外,它简化的自动化和安全功能可确保易于使用和操作,同时提供最佳的生产效率和精确度。