二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #148297 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
已售出
ID: 148297
晶圆大小: 12"
Furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种用于半导体晶片和其他细腻材料的批量生产的扩散炉及附件系统。是业界最先进可靠的系统之一。具有申请专利的腔室形状和最优晶圆均匀性和高产率的尖端加热能力。TEL ALPHA-303I提供快速的周转时间,具有卓越的准确性和可重复性。作为额外的好处,它易于使用和维护。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配备了多种安全方便的功能,包括室内热干燥机和熄火系统,可以快速冷却和干燥室内。它还有一个直观的显示屏,设计用于远程访问和控制。使用全自动配置文件控制系统,可以自动进行任何必要的调整。东京电子ALPHA-303I扩散炉的设计考虑了灵活性和效率.模块化设计允许自定义配置和升级。先进的电源管理可以实现高效的能量传递和准确的气流控制。Alpha 303i扩散炉装有超高频(UHF)加热,使加热迅速,热循环更快。UHF线圈由坚固的nichrome线构成,具有高热灵敏度和超长的加热寿命,最大程度的晶圆均匀性。UHF的效率也极高,比传统电炉耗电量低10倍。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I还采用了先进的控制技术来精确控制产品质量。各种传感器,包括电阻高温计和催化高温计,能够精确监测炉温。而其内置的PID(Proportional/Integral/Derivative)控制器确保了一个平稳一致的制造过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I的设计旨在提供快速、可靠、经济高效的扩散炉及附件服务。其卓越的结构、先进的控制能力和用户友好的设计使其成为任何客户批量生产需求的理想选择。
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