二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293592993 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种扩散炉和相关配件，能够执行各种半导体加工任务。使用钨卤素灯和气体溷合物，TEL ALPHA-303I能够达到高达1250°C的温度，这是一项令人印象深刻的壮举。内置温度控制器和可编程逻辑控制器（PLC）可实现精确、定制的处理温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配有一个专门的工艺室，用于热和化学气相沉积，三氯硅烷，或湿蚀刻。此次升级使得沉积或蚀刻硅或铝化合物，或类似金刚石的碳膜能够增强电学和光学性能成为可能。TEL ALPHA 303 I也提供了沉积或蚀刻铝、银、镍、钛等各种金属的能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I还配备了电力供电系统，使其能够在比其他大多数扩散过程更高的电流和电压水平下运行。这允许手动或可编程地控制电流和电压，以实现更快的处理时间，以及增加横向扩散过程中的沉积速率。此外，TEL ALPHA-303 I还可用于离子注入、光刻和干蚀刻等多种工艺。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i的高温和真空能力，由于热均匀性的提高、沉积速率的提高和污染的减少，对这些过程是有利的。最后，可以在TOKYO ELECTRON ALPHA-303I上安装单晶片负载锁系统（SWLLS），进一步提高扩散炉的能力。该系统允许快速、均匀地处理多个晶片，使其最小程度地暴露于空气中，使其成为研发用途的巨大资产。总之，ALPHA 303 I扩散炉是一种功能强大、用途广泛的半导体加工工具。其高温真空能力，加上一次处理多个晶片的能力，使其成为研发项目的诱人选择。