二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293606036 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种数字扩散炉，设计用于生产半导体工业中的专用基板和元件。这种设备经过精心设计,能够以最少的投入提供非常精确和高效的结果。该炉由装在退火室内的CVD工艺室组成。这使用户能够快速、轻松地退火、干燥和冷却组件。这反过来又提高了生产速度和效率。TEL ALPHA-303I利用PrecisionPattern技术提供具有高级热均匀性的精确结果。通过集成薄膜图样控制系统实现了CVD和退火参数的精确控制。ThinFilm Pattern Control Unit使用户能够在最小程度地侵入基材的情况下创建精确重建的3D形状。因此，用户将能够通过一致的深度、均匀性和表面质量来保持高基板质量。该炉包括一台直观的HF功率控制机，允许用户控制射频频率和功率输出，以进一步优化生产流程。HF电源控制工具还可确保对图桉进行精确校正,而不会产生任何失真。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还包括一个革命性的温度控制资产，比以前的型号更先进。其温度控制模型在晶圆表面提供± 3°C的温度均匀性，即使在存在高热载荷的情况下也是如此。这样可以实现高度精确的操作,并保持较低的功耗。此外，供气设备有助于确保精确调节的反应性气体的应用，从而促进高效和统一的加工。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I还拥有增强的安全功能,以确保操作员和用户的安全。这些特点包括自动燃气关闭系统、温度自动停止功能和应急二次供气单元。总之，ALPHA 303 I是一种高度先进的扩散炉，能够快速、精确、高效的处理。其集成的薄膜图样控制机和HF功率控制工具可实现均匀、精确的图样而不失真。其温度管理资产提供了卓越的温度均匀性，同时其先进的安全功能保证了用户的安全。