二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293619004 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 293619004
晶圆大小: 12"
Nitride furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是由TEL开发的先进扩散炉及配套配件。这台机器是专门为高质量的扩散和薄膜沉积过程而设计的。它是一种四区水平分流管模型,结构坚固,适用于高温应用。303i配备了一种正在申请专利的扩散管结构,采用铜管搭配陶瓷磨损层,以保证更长的寿命,并提供比其他系统更一致的工艺。它具有高效的气体升降泵和广泛的气体流动设置,允许与炉子规格紧密匹配的高工艺速率。此外,它还配备了直观的触摸屏控制器,用户可以快速轻松地设置和监控该过程。其强大的软件和用户友好的人机界面为用户提供了精确定制流程所需的灵活性。303i还具有独特的温度设置,使用户能够设定炉温,范围为150至1000 °C。该产品具有多种特点,如薄膜厚度的高精度和重复性,沉积薄膜均匀性的增强以及随时间推移的高温稳定性。这可以显着减少某些进程所需的重新运行次数。它还具有出色的安全功能,例如远程电源故障保护,可以在电源中断时安全运行。此外,303i符合CE、VDE和UL安全标准。TEL ALPHA-303I是高质量沉积工艺的理想选择,如用于化学气相沉积、外延、化学处置、电子和其他科学研究的工艺。它提供卓越的性能、精确度和可靠性,是要求苛刻的应用程序的首选。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I是一项有价值且经济实惠的投资,因为它可以在扩散过程中节省时间和金钱。
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