二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293635550 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是为离子植入过程而设计的扩散炉及其配套配件。这种高效的器件具有工艺时间短、晶片表面均匀性提高、分布均匀性优良等特点。TEL ALPHA-303I一次最多可容纳六个晶片，使得在短时间内处理大量材料成为可能。该炉利用直流电（DC）功率产生均匀的表面浓度，并配有射频电源以减少等离子体产生。采用独特的石英室设计，最大限度地减少了晶片表面的污染。可调控制面板允许操作员调整蒸发器温度、扩散炉负荷速率、扩散敏感性等参数。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还具有自动载波兼容性，允许使用具有变化晶圆直径的兼容工具包。这种灵活性允许在不需要重新加工的情况下处理各种样品。此外,直观的用户界面还可帮助进行故障排除和其他操作活动。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I还包括一个特殊的氮气大气模块，非常适合保护敏感装置免受污染和氧化。大气层模块允许精确控制大气层条件，使晶圆产量达到高水平。该炉可设置在单端和双端操作中，并设有一个用于跟踪关键工艺步骤结果的排气测井设备。TEL ALPHA-303 I为晶片表面处理提供了多种尖端选择,包括阳极键合、分子键合和熔融沉积。这些过程为成功的植入过程提供了必要的清洁度和表面光洁度。此外,还提供了一个自我诊断系统,用于检测流程中的任何错误并立即进行纠正。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一种先进的扩散炉及相关配件，旨在在植入过程中提供卓越的性能和结果。该设备包含一个直观的用户界面和残留记录单元，从而实现高质量的结果和更短的周期时间。这台机器的灵活性允许在短时间内处理多个晶片，总体效果得到改善。