二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293636078 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是为生产半导体晶片而设计的扩散炉及相关配件。TEL ALPHA-303I能够在高达1200°C的温度下进行扩散处理，使其适用于浅层和深层交界形成。实现过程定制的功能包括：用于过温保护的炉源电源设计、全方位反馈过程设备以及对多个温度区域的独立控制。303i的人机界面（HMI）还包括高级联锁和诊断程序,为用户提供灵活性、安全性和工作效率。其高效的散射式反流缸设计确保了工艺的均匀性，同时保持了良好的均匀性。此外,303i还具有卓越的射频发生器性能,可以根据特定的层和应用程序要求进行调整。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I装有先进的环保功能。这些特点包括超低水流率、专用冷却剂冷却器系统和臭氧保护。此外，该系统还配备了气体置换装置，用于处理各种不同工艺要求的气体。气体置换机还与气体分析仪配合工作，以确保工艺参数得到良好维护。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I也有控制过程污染的必要真空泵解决方桉。该单元由大容量真空泵和独立差压计提供动力，以确保有效的过程控制。此外，该单位还有一个用于资产维修和一般维护的多折返维护工具。总体而言，Alpha 303i是一种大型、强大、有效的扩散炉及相关配件。其先进的技术确保了该单元适合广泛的扩散处理环境。TEL Alpha 303i具有精确的控制和均匀性，是半导体芯片生产的有效可靠解决方桉。