二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293652596 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款高品质、专业级的扩散炉及其配套配件。熔炉是半导体工业中使用的一种热处理设备，用于将掺杂剂扩散到基材中，以创造所需的电性能。这种特殊的模型，TEL ALPHA-303I，被设计为在受控环境中均匀加热和冷却基板。它配有集成晶圆转移机器人和倒装载机，以满足许多生产线的需求。由于其大的腔室尺寸和闭环调节，运行设备时没有延误或整体停机，这使得它在操作上非常高效。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I适用于多种应用，包括植入物、掺杂剂、氮化、预清洁工艺和其他热处理工艺。与其他类似系统相比,它提供了卓越的一致性、更快的设置时间和更高的吞吐量。Alpha 303i processes at wither at 900 Celcius, with a plasma heating generator to everage thermal diversion of the materials.它有一个特殊的温度控制程序和可变的过程室，使其适合复杂的操作。TEL ALPHA 303 I还具有控制温度、压力、等离子体和其他参数的全自动系统。它的高级系统功能允许从一个预设快速切换到另一个预设,以及实时过程控制,从而使您能够完全控制扩散过程。该产品还配有一系列配件，包括装载系统、晶圆处理工具、真空泵以及一系列工艺传感器和监视器。由于强大的功能和易于使用的功能相结合,ALPHA-303I扩散炉是那些需要专业级设备和配件来满足热处理需求的人的理想解决方桉。