二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658165 待售
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ID: 293658165
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger cooling water unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Rapid cooling unit
Pump box LCVD system
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
FUJIKIN MFC Air valve
HORIBA STEC
APC: CKD
Gas: PN2, N2, 0.1%PH3, SiH4, CIF3
Power supply:
Three Phase, AC 208V
Single Phase, AC 120V
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是专门为半导体应用而设计的扩散炉。它是一种紧凑、单轴的设备，可以用来在晶片中添加掺杂剂来增加材料的电导率。TEL ALPHA-303I有一个集成的炉膛，温度控制和真空密封，允许精确和一致的处理温度。其安全的联锁和安全系统确保操作员在操作过程中的安全。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I为扩散应用提供了最大的灵活性，包括为不同的气体和气体溷合设定多次停留时间的能力。工艺时间准确、可重复，冷却速率可调，对温度曲线进行精确控制。ALPHA-303I真空性能优异,底压低于1 Torr,高泄漏率高达5x10^-3 Pa-m^ 3/sec。它还配备了可持续监控驱动器清洁度的灯。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i工作与广泛的底物，包括石英，硅和铝。可以调整磁感器以适应特定的基板尺寸。气体歧管有单独的供应和排气管线，控制流量和流形。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I能够进行高温度过程,100Torr时高达1100 °C。它还可以在高达1250°C的温度下提供快速的热处理。ALPHA-303 i包括单晶片处理和批处理的序列控制程序。它允许用户设计特定的序列和重复进程。该系统还提供远程监视和数据记录功能,允许用户从几乎任何地方检查温度概况和设备状态。ALPHA 303 I是一种可靠且易于使用的扩散炉机。它提供卓越的真空性能和快速的循环时间，同时确保过程的可重复性和可靠性。它具有内置的安全功能和灵活的自动化功能,非常适合各种基于半导体的应用。
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