二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658609 待售
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ID: 293658609
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Diffusion furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature
Controller
Scavenger cooling water unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Pump box
Rapid cooling unit
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
APC: CKD
Gas: PN2, O2, HC
KAWASAKI MECHA
FUIIKIN EC Air valve
Power supply:
AC 440V, 3 Phase
AC 100V, Single Phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是为硅晶片的高精度热处理而设计的先进扩散炉及配件设备。该系统采用超高速三区炉，具有单级、低瓦数、基于射频的电阻加热技术。TEL ALPHA-303I单元是模块化的,可进行简单高效的扩展以满足客户的需求。此外，该炉还设计有加热屏蔽平面磁控管溅射源、多个高度可调节的装卸架以及气体进气歧管。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的温度均匀性是首屈一指的，这是由于采用先进的P.I.D.控制的独特的三区炉设置。这样可以确保整个腔室内部准确、快速地保持所需的工艺温度。一种专利的新型催化剂材料也能确保重复性和提高工艺稳定性。该炉还设计用于高精度均匀性和可重复性，例如整个腔室的温度均匀性高达± 2°C。ALPHA 303 I也是为了方便维护和操作而设计的。炉子的设置是为了通过位于炉子背面和底部的不锈钢检修盖快速方便地进入炉子和机器中的所有元件。此外，该工具还配备了高性能吸力设备，可有效清除加工周期内产生的废气。这可确保在此过程中不产生危险烟雾。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的其他特性包括一个强大的微处理器控制模型，用于监测和调整炉子的加热时间和温度等参数。这样可以确保每个周期都有准确可靠的过程,并能够存储参数以供将来使用。该设备还配备了自动晶片加载系统，有助于减少停机时间和提高设备的生产率。Alpha 303i是一种可靠、先进的扩散炉机器，为硅片提供高精度的热处理解决方桉。该炉采用模块化设计，易于扩展，强大的微处理器控制工具确保每次操作准确、可重复。此外，低瓦数射频加热技术确保了准确加热，气体入口歧管确保了废气的有效清除。这种扩散炉资产非常适合那些寻找可靠和精确的半导体器件热处理解决方桉的人。
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