二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293660114 待售
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ID: 293660114
优质的: 2007
LPCVD Furnace
Process: TEOS
Heater: VMM-56-002
FUIIKIN Air valve
APC: CKD
Gas: N2-1, Pure N2-1, O2, TEOS CG100, N2-2
Power supply: AC 208V, 3-Phase, Single-Phase
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种扩散炉和附件，用于在高温下生产高纯度半导体和其他材料。TEL ALPHA-303I能够达到高达1250摄氏度的温度，并配有电阻炉和内置冷却风扇。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还有一个气体过滤系统，它能够通过消除微小的尘埃颗粒来保持室内的纯度。整个设备由高级不锈钢构成，并配有保温门以保持温度稳定和先进的操作员保护安全系统。该炉采用涡流加热方法，在炉内达到均匀加热和温度均匀。涡流加热法利用气体管线、气体喷射和振动器式搅拌器，负责将管线和喷射喷嘴的气体结合在一起，形成一种涡流形式。这种涡流加热方法使温度上升更平稳，加热时间也更快。ALPHA-303I的内部容积为50升，可处理各种气体，包括氧气、甲烷、氙气和氮气。它还与二氧化硅、硅化合物、氧化铝、氮化物、碳化物等几种电荷材料兼容。此外,TEL ALPHA-303 I还具有自动区域设置（AZS）功能,可用于为炉内的每个工艺区域设置不同的条件,如温度、气体和基板类型。使用TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I，用户可以实现清洁优质的产品，如半导体、太阳能电池等电子产品。Alpha 303i的精密度和精确度使得每个晶片都能均匀加热和冷却,从而提高产品质量和产量。为每个工艺区域设置不同条件的能力进一步增强了本产品的功能,并为用户提供了根据其特定需求自定义计算机功能的能力。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是为满足现代制造业需求而设计的强大扩散炉及配件。它能够处理多种基材和气体，使其成为生产多种优质、无瑕产品的通用可靠工具。
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