二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293745193 待售

ID: 293745193
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Furnace, 12" Process: LPCVD Nitride Handler system (2) FOUPs Non-functional: Process chamber Heater 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i扩散炉是以最新技术建造的先进自动化系统,以符合热处理的最高标准。它们的设计目的是提供一致的均匀加热,以便对热过程进行精确控制,并保持对关键参数的精确控制,以确保一致和可重复的过程性能。TEL ALPHA-303I系列采用溷合氧化/扩散型控制设备,可选择三种不同的版本。这些选项旨在提供满足特定需求的灵活性,允许用户为流程选择适当的扩散环境。扩散炉还包括一个多级线性MPC(多参数控制)系统,设计用于提供整个过程的高精度温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I扩散炉还配备了一系列先进的配件,包括样品旋转器和石英衬里。这些配件被设计为增强和扩展慢热式扩散炉的能力,使样品持有者在过程中得以旋转,让用户获得均匀的处理结果。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I扩散炉还包括内置的振动保护系统和温度极限控制电路等一系列安全特性。这些安全特性将确保扩散炉的一致和精确运行,也有助于保护它免受意外损坏。TEL ALPHA-303 I扩散炉采用的先进技术经过设计和测试,在各种应用中提供了更高的稳定性和性能。易于使用的操作单元具有一系列用户友好的功能,使其适合各种流程。综上所述,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一种先进的扩散炉机床,包括一系列配件,可以进行精确、均匀的加热。它配备了一系列安全功能,以确保一致和精确的操作。该工具还具有易于使用的操作资产,适合各级用户使用。ALPHA-303 I扩散炉是需要精确温度控制和均匀处理结果的一个很好的选择。
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