二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293754732 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种用于制造半导体品质产品的扩散炉及配件。可用于扩散、氧化、LPCVD等多种过程。TEL ALPHA-303I具有手动和全自动功能,因此非常易于使用。它也适合小批量生产，由于改进了工艺控制和监测，产量更高。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的最大功率是110kW的,可调节输出和温度分析.腔室尺寸为直径35.4厘米，深度35厘米，最大基板尺寸为直径300毫米。该炉有6个加热区，具有加热感受器和全氮能力。这允许目标研究如氧化、杂质扩散、硅化和多层沉积的评估。此外，高温工艺兼容性可高达1100 °C以上。TEL Alpha 303i也有多达6个气体输入通道通过气体注入系统和一个可选的原位计量系统，提供实时反馈，用于控制温度和过程各阶段使用的各种气体等参数。它还可以接受包括50/60 Hz功率和平衡/不平衡交流电源在内的各种供热源。最后,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I提供了易于保存、编辑和加载的配方。这使得它对工程师、技术人员和生产人员都非常方便用户。该设备还具有工厂安装的安全功能，包括E-Stop、温度和压力警报以及火灾探测系统。TEL/TOKYO ELETRON ALPHA-303I是各种半导体生产应用的优秀扩散炉及配件。它具有易于使用的特性,对于那些希望在进行高质量工艺的同时提高生产产量的人来说,它是一个绝佳的选择。