二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293758336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种先进的半导体加工解决方桉,具有先进的直接耦合双室扩散炉设备。此解决方桉有助于使高级半导体的制造更加高效、快捷和可靠。炉子独特的设计最大限度地利用了两个腔室同时和帮助减少污染，由于其无角设计。TEL ALPHA-303I是一个完全自动化的系统，集成了机器人负载锁。这种载荷锁最大程度地减少了装卸零件时发生腔室污染的机会。该单元随附的定制软件简化了整个过程，有助于更快、更轻松地组织多个序列。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I旨在提供卓越的性能、更好的均匀性和最佳的精度。即使在恶劣、具有挑战性的环境中，熔炉的多层加工环境也能提供良好的均匀性和温度稳定性。紧凑型燃烧室内的燃烧器能够在竞争系统中提供最高的转移效率和最优的沉积速率。集成到TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I中的先进、功能齐全的TEMI-2控制器使用户能够安全地执行数据分析和快速实时过程控制。控制器还配备了自动/手动飞行室调谐能力、多单元管理和实时就地测量等最先进的功能。Alpha 303i因其较大的工艺面积和模块化设计而与广泛的基板兼容。这使得它成为不同过程的理想选择，如掺杂、退火、PVD和CVD。该炉还设计有先进的安全特性，包括排气机、热限制器和安全互锁关闭工具。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I是一种先进、用途广泛且可靠的扩散炉资产，提供卓越的性能、均匀性和精确度。该模型具有强大的设计、用户友好的界面和先进的安全特性，能够在各种受管制的工业部门提供成功的沉积工艺。