二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293766646 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种下一代的半导体和显示行业的扩散炉及配件。它是一种全自动、高温、超高真空(UHV)聚焦离子束(FIB)和溅射沉积设备。TEL ALPHA-303I通过高分辨率成像、高通量、对溅射沉积的精确控制以及灵活的各种应用工艺设计,提供了卓越的性能。它可以同时沉积、蚀刻和构建设备结构。自动化系统提供了卓越的工艺一致性,可配置为缩短制造时间。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I利用串联反应器套件在最高温度和真空水平下提供热、自由基和原子,并改进了设计,大大提高了工艺精度和可重复性。垂直多室设计允许所有腔室快速、同时的温度循环,排气单元有效地清除任何剩余的氧气、氮气和其他可能的污染物。TEL Multi-source Ion Implanter是一种可选的机器,它是一种先进的植入技术,具有多种植入模式的优点,包括双光束、组阵列和单区域模式。该工具可以提供前所未有的高剂量精度和均匀性,以及近束关闭时间。ALPHA 303 I还配备了先进的晶圆加载资产,旨在实现更快更安全的晶圆传输。结合自动感知模型和自动晶片检索设备,晶片加载系统可以减少晶片处理时间,防止异物污染。此用户友好单元与TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I流程规则兼容,能够快速部署,并具有高水平的流程控制和机内分析。ALPHA-303我可以与其他系统集成,包括自动步进器、AFM和成像工具。对于需要可靠、经济高效的焊线焊接方法、制造电路和创建层层沉积的制造商来说,Alpha 303i是一个极好的选择。凭借其先进的资产设计,ALPHA-303I可以为高吞吐量需求提供高效可靠的解决方桉。
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