二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293829710 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种热扩散炉和附件，用于在高达1100摄氏度的温度下处理晶圆和其他基板。该工具利用具有快速热梯度的双区热区,从而允许更快的生产时间、更高的温度和更大的产量。TEL ALPHA-303I的核心部件包括加热室、气体传递环和温度控制模块。一种自动基板处理设备为预热、蚀刻和沉积工艺室提供了一种均匀的基板。此外，它还提供了集成的水冷和强制排气通风系统。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配备了最新的Thermco Series III控制器，具有先进的编程参数和选项，便于精确的地下温度和工艺优化。它内置的压力传感器监测炉门压力和热氮化物排气压力，以帮助确保严格的过程控制。单元的自动化方面进一步简化了工艺室内的扩散速率和温度均匀性。其他功能包括方便的地面热气体旁路和排气风扇控制,它提供手动覆盖以确保安全运行。该炉还配备了先进的安全机制，如火焰检测机，在检测到危险程度的易燃气体时自动关闭电源。TEL Alpha 303i效率极高,而且需要极少的维护,这使得它成为寻求高效可靠扩散炉的企业的绝佳选择。它提供了统一、可重复的结果，并实现了高质量的晶圆和基材加工。安全特性、高端工艺优化、易用性的结合有助于降低开销成本和生产时间，使得TOKYO ELECTRON ALPHA 303i成为寻求可靠扩散炉的厂商的绝佳选择。