二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9167199 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种扩散炉，广泛应用于薄膜沉积的工业和研究应用。TEL ALPHA-303I由直径6英寸的石英反应堆室、集成气体喷射设备、石英敏感器和温度控制器组成。温度控制器采用顶端PID算法,可提供高达1100 °C的稳定、精确的基板温度。整个系统通过具有直观用户界面的触摸板控制器运行。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I扩散炉是一个垂直的石英室，周围有一个壁的石英crucible。该腔室有一个气体注入单元，能够将氮气、氢气、氙气或其他气体注入腔室。这种气体还被用来制造一种保护性屏蔽物，保护其免受污染。热控机由两个热电偶输入组成，分别监测石英熔炉温度和腔室温度。扩散炉的下游是一系列附件，包括真空工具、机械门、高温波纹管、冷陷阱、压力表和气体净化配件。其他可选组件包括多端口喷射器、多区域喷射器、熔炉歧管、阀室等。Alpha 303i扩散炉提供卓越的温度均匀性和可重复性，以及优异的热稳定性。这确保了高质量的薄膜沉积工艺。它还具有成本效益,因为低成本组件的使用寿命更长,并且比其他型号更容易更换。综上所述，ALPHA 303 I扩散炉及配件提供卓越的温度控制和均匀性，出色的热稳定性，成本效益。适用于薄膜沉积的工业和研究应用，是制造专业人员的宝贵工具。