二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9211140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是专门为半导体器件生产而设计的先进扩散炉及配件。其先进的加热技术确保了先进设备结构的可靠热扩散过程。TEL ALPHA-303I采用了一种新型的大面积炉膛，称为3 cm炉膛。该腔室采用三维设计，针对均匀的热分布进行了优化，改善了腔室温度与基板的匹配。它还有效地捕获反应物气体，防止设备结构受到污染。该腔室还与自动手动转移兼容，还具有一种新型的真空闸阀和波纹管耦合器，用于优化氮气或氙气处理。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还配备了用于可靠热扩散的双温测量设备。该系统采用热耦合测量头，精确检测基板两侧的温度，能够对工艺条件进行可靠的控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I也有一个自动化的交付单元，允许精确和可重复的过程。该机具有多通道数字流控制器和各种端口，便于模块的安装和拆卸。自动化交付工具还允许精确和可重复的流程，加上自动化控制软件，以实现高效的流程管理。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I是专门为先进半导体器件生产而设计的先进扩散炉及配件。其先进的加热技术确保了先进设备结构的可靠热扩散过程，而其双温度测量资产和自动化交付模型提供了精确和可重复的过程。此外，它的3厘米炉膛改善了炉膛温度和基板的匹配，并捕获反应物气体以防止污染。