二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9229590 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是TEL(TOKYO ELECTRON)为工业用途而设计制造的先进扩散炉。该扩散炉广泛应用于半导体制造、光伏电池制造、蚀刻工艺等多种行业。它是一种集成设备,包括一个30型晶圆炉、一个Alpha 30晶圆载波和一个Alpha 8双室平整工具。30型Wafertron炉允许最高1150°C的温度控制以及内置的反吹功能,允许低应力扩散过程。该炉还设有两区"Z轴"系统,在热区和冷区之间保持一个均匀的温度场,以确保温度轮廓紧凑。Alpha 30晶片载波设计用于处理各种尺寸的晶片,可以通过熔炉移动直径高达6英寸(150毫米)的晶片。它配有气垫和支撑物,保证了顺畅、安全的运输。Alpha 8双室压平工具在扩散炉配件中采用了最新技术,允许快速、受控的气动压平工艺。这个单元允许对晶片厚度进行更精确的控制,方法是对腔室加压,然后释放压力使晶片自动变平。TEL ALPHA-303I通过其创新的设计和先进的功能提供可靠和高效的性能,使其成为工业用途的首选。它将精密温度控制与现代化的腔室设计相结合,使使用者能够达到各种应用所需的精密参数。这台机器也有经验丰富的工程师作为后盾,可以在需要时提供技术支持。
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