二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9235827 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种扩散炉和相关配件的集合，设计用于半导体制造。利用先进真空处理、晶圆、电阻加热和公用事业控制的独特组合，该设备能够提高精度、效率和可重复性，提高制造性能。该系统围绕TEL ALPHA-303I室构建，循环时间快，温度控制严密，保证了优异的效果。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I有一个1,500公升的加工不锈钢室，用于快速的多层基板扩散过程，以及一个高效的石英钟形感光器和石英卤素灯，用于均匀的温度分布。其闭室、双门设计增强了工艺控制，提高了产品质量。设备性能的核心是TEL高精度、线性驱动的UPECB处理控制。UPECB根据环境条件进行自我调整，从而无需不断重新校准机器。UPECB还确保对精确基板温度进行精确的气体/真空控制,并改善腔室内的均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I附有一套旨在提升性能的配件。为保护腔室内部免受污染物污染，该工具配备了惯性颗粒清洁器，在工件上循环一股氮气。还包括一个旋转石英船，它允许更快，更均匀的扩散处理。为确保性能和质量,ALPHA 303 I包括用于自动处理的化学接口、用于监控的真空抽头以及各种安全系统和联锁装置。为实现数据记录和处理,资产包括一个7英寸触摸屏显示屏和一个内置操作员面板,便于控制和深入的流程文档。TEL ALPHA-303 I扩散炉是半导体行业工艺工程师必不可少的工具,它提供了确保最大性能和产品质量的准确性、效率和可重复性。