二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251681 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i （TEL）扩散炉是一种高性能单元，设计用于各种金属、合金和金属间化合物的快速、高效扩散。它具有自动化的控制设备，旨在提供快速、精确的过程参数可重复性，使其成为高通量扩散过程的理想选择。TEL ALPHA-303I具有三区支撑的散粒传热系统，每个系统都配有独立的温度控制和一套独立调节的气流，以支持高度精确的温度控制。该室设计用于快速热再生，包括一个ult-high剂量粒子收集单元，设计用于捕获小至0.05微米的污染物。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还配备了一个高温陶瓷反射器，设计用于引导来自内部加热器的辐射以最大限度地提高加热效率，以及设计用于减少辐射损失的超大腔壁。其低惯性设计确保了快速加热时间和快速启动时间。TEL Alpha 303i配备了用户友好、菜单驱动的操作员界面，方便访问工艺参数、监控参数、设置时间/温度配置文件、调整气体流量、设置安全参数。触摸屏显示还允许通过Web服务器进行详细编辑和远程监控。除了这些先进功能外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I还配备了多项安全功能，如热关闭电路、压力安全开关、密封气体连接、极端温度报警器等。这些特性使其成为要求最高安全和准确性的高密封制造工艺的理想选择。总体而言，ALPHA-303 I扩散炉是一个可靠、高效、安全的单元，用于加工各种金属、合金和金属间化合物。它的自动化控制机使工艺参数具有精确的可重复性，其先进的安全特性使其成为高密封制造工艺的理想选择。