二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251683 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种单晶片扩散炉设备，为电子器件制造提供优异的性能，特别是先进的硅片。它在扩散、蚀刻和沉积过程中使用最新技术。TEL ALPHA-303I具有多种内置配件,包括自动液体输送系统、手动液体填充、前后负载锁以及主动前后开口。此外,还有一个先进的狭缝阀设计,可帮助确保准确的加工气输送和温度精度。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I具有开放和易于使用的可调流设计。这允许独立和同时控制前后流量。它还有一个操作平台和耐腐蚀的腔室，可以承受高达220°C的温度。ALPHA-303 I室采用高品位、耐腐蚀材料建造，具有很高的可靠性和耐用性。此外，利用垂直式直热元件优化炉温均匀度。TEL ALPHA-303 I在750至1100°C范围内的温度均匀性提高了± 2至3°C，这要归功于它具有多区温度的高产三区加热悬垂装置。它还利用各种气体，包括N₂,CO₂、S₂O₂,CF₂,O₂#、H₂,NH₃和SF₆，使其成为真正的多用途扩散炉。再者，TOKYO ELECTRON ALPHA-303I有几个为保证使用者安全而设计的安全功能，包括一个可钥匙锁定的启动/停止机制、一个自动接触检查机和一个光学检查工具。光学检查资产可确保腔室不受污染。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一个非常高效的扩散炉模型，提供卓越的性能。它专为高吞吐量和准确度而设计,可实现更好的质量和更快的工艺周期。凭借其独特的设计、先进的配件和高度可靠的安全特性，它是任何电子设备制造商的绝佳选择。