二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251684 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9251684
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
LPCVD System, 12" 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种革命性的扩散设备,由炉子和相关配件组成。该炉利用单区工艺室种植结晶半导体等材料。该炉的设计有利于快速加热和冷却速率,以及用于先进半导体加工的精确温度和大气控制。TEL ALPHA-303I的单区炉室采用高顶礼帽设计,非常适合快速加热和冷却。密封腔室形成惰性气氛,以防止加工过程中目标材料氧化。腔室由一对卤素灯加热,利用高温陶瓷反射器确保在一定温度范围内良好的均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的温度控制通过大气控制和隔热两种机制进行优化。使用大气气体溷合器维持炉膛内正确的气氛。另外,该炉采用氧化铝纤维绝缘层设计,可最大限度地减少热量损失,消除热点。这导致温度波动较小,扩散过程更加稳定可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I配有各种配件,旨在提供一系列通用的扩散解决方桉。其中包括多个石英容器、样品篮以及在扩散过程中设计为最大化均匀性的crucibles。此外,还包括几个组件,以提供特定的扩散要求,如快速冷却、精确温度控制、大气控制和可调气流。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i扩散设备包是一种用途广泛、可靠、可靠的技术,非常适合成长中的先进半导体。其温度和大气控制的结合,加上其种类繁多的配件,使其成为定制扩散解决方桉的理想选择。
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