二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251686 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款最先进的扩散炉及配件，旨在提供纯度、均匀性、重复性最高的高端薄膜。它具有先进的技术,能够快速加工各种材料。TEL ALPHA-303I是一种具有三区加热设备的多级炉，使其能够提供质量和可重复性较高的深度反应性离子蚀刻（DRIE）和热氧化过程。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I利用独特的等离子体生成室，以氧气、氮气或硅氢气供气，以修改各种工艺条件，提高均匀性和纯度。它具有主动温度和压力染色均匀性控制系统，具有温度规划和温度映射功能。ALPHA-303I还具备多种气体输送技术，从随时间变化的流量到精确定时的气体脉冲。此功能使用户可以实现精确的薄膜沉积和过程控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I提供了一个集成的多点监控系统，允许用户收集室内压力、温度、气流和氧气浓度等众多工艺参数的数据。此数据用于创建统一映射或优化TOOL。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一种多罐气体输送装置--用户也可以选择低压或高压配置，为各种过程建立有利的大气。还包括一个电子捕获机，以及一个覆盖石英的射频电感和伴随的射频电源，用于控制频率。这允许用户进行静电涂层、溅射和PVD处理。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I还包括了一个升空过程，以及一个高级烘烤模式与门自动打开和屋顶在出运动。升空工艺可用于晶圆偏置蚀刻、等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）和其他表面处理，以提高薄膜质量。烤箱盖也可以装载高达20千克，使用户可以达到均匀性，防止失真问题。此外，TEL ALPHA 303 I包括一个用于干洗的化学端点检测工具，并配备了400mm均匀性映射资产。这使用户能够确保过程控制稳定并获得精确的批处理数据。而且，Alpha 303i涂覆了特殊的低阻力陶瓷饰面，提供了最大的精度、均匀性和可重复性。TEL ALPHA-303 I是一种先进的设备,可为用户提供多种功能,以确保卓越的完美、质量和可重复性。它允许用户以最高质量执行各种流程,同时还提供数据以确保成功控制流程。