二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是设计用于半导体制造工艺的高性能扩散炉及配件。它可以执行多种任务，包括底物掺杂、浅沟隔离（STI）和晶圆去键。炉子装有最先进的垂直反应堆，确保整个炉子的精确温度和均匀性。它具有1,800¬∞C的最高温度和整个工艺室的±2¬∞C均匀性。它还配备了高速水冷设备，用于快速高效的冷却。TEL ALPHA-303I是一个先进的炉子配备了一系列的特点，以最大的效率。它具有高度可配置的内存,最多可存储64种不同的配方,并且可以快速轻松地进行召回。这允许高效的操作和快速的周转时间。它还配备了实时监测和控制系统，跟踪腔室中的工艺参数，确保工艺在最佳条件下进行。除了工艺能力外，TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还提供出色的安全特性。它是由一个先进的绝缘单元与多层绝缘在操作过程中最大的热保护构造。该炉还配有若干联锁装置，以确保安全，并配有紧急关闭阀，在紧急情况下关闭燃气和电力。TEL Alpha 303i配有全套配件，包括AFM单元、用于在腔室之间传输晶片的载波升降机和晶片对准机。这样可以在设置工具时获得最大的灵活性,并确保晶圆快速准确地加载和卸载。总之，Alpha 303i是一种先进的扩散炉及其附件，具有优异的性能和安全性。它配备了先进的温度控制和监控能力，快速的处理能力，以及一系列的附件来增强它的功能。对于需要可靠高效的扩散炉的人来说，这是一个理想的选择。