二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9269364 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是为满足微电子工业的需求而设计制造的扩散炉及配件。它是一个单一的晶圆炉，提供最高温度控制，最小化停机时间，提高产量。TEL ALPHA-303I拥有一个纯粹由不锈钢构成的晶片加工室，提供卓越的性能和持久的稳定性。该单元采用3向270度旋转的集成设计,可在晶圆的上下表面均匀加热。加热设备使用高度先进的间接加热元件，由高端电阻元件和陶瓷加热器组合而成，可实现高达1300 °C的大温度范围。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I使用了革命性的16区大气控制系统，由径向流式制备室和合金气体排气池组成。16个区域中的每一个区域的温度都是独立和连续监测的，从而能够更密切地控制温度，同时降低热生产率。其专有的RAD设置内壁结构也消除了对冷却剂散热器的需求，从而大大降低了成本。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I的高端选项提供更高的效率和生产力。它具有先进的电源转换器,可提供多种输出电流,可用于达到所需温度。此外，其高精度的质量流量控制器和三阀控制单元保持稳定的内部气氛，同时利用广泛的气体选项。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I的设计提供了几个额外的功能。其内置的锁定按钮、应急预警电路和自动停车机，旨在防止事故发生，保护安全的操作环境。其先进的安全报警工具也在必要时发出警告。ALPHA 303 I是任何微电子实验室的理想选择。它提供了可靠的加热温度与良好的控制和稳定性，所有的一个高效的封装。