二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9281325 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9281325
晶圆大小: 12"
LPCVD Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是工业生产晶圆和IC电路的先进高效扩散炉及附件封装。它旨在提供最大吞吐量和卓越的过程控制,以确保在创建各种应用程序中使用的复杂设计时获得最高质量的结果。TEL ALPHA-303I具有利用PID闭环控制系统精确调节腔内温度的大气压力控制设备。这使得它能够在整个腔室内产生极均匀的温度环境,并在连续生产运行期间减少热漂移。它还有一个自动化的过程控制单元,自动化各种预先编程的参数和时间,以确保准确和精确的结果。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还设计了一种高效的冷却机器,有助于在长时间的高温生产周期中最大程度地减少氧化。其冷却风扇组件有助于冷却剂在整个腔室中循环流动,其PID闭环控制工具可以进一步优化以降低能源成本。此外,它的内置热转换器有助于在延长使用期间保持准确和一致的温度。这个扩散炉和附件包还包括几个重要的组件量身定制,以协助高端工业生产过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I能够支撑多种加热元件,如超高真空蒸发器,以及较重的晶片加载系统。此外,它的内置SMIF端口的设计使多达四个单独的晶圆束能够安全地加载。为了提高操作安全性,ALPHA 303 I标配了故障安全的氮气和氙气净化系统。总之,TOKYO ELECTRON ALPHA-303I是一种先进、高效的扩散炉和附件包装,旨在最大限度地提高制造效率和降低能源成本。TEL ALPHA 303 I以其PID控制资产、冷却模型、各种加热元件、SMIF端口以及氮气和氙气净化系统,是那些希望在工业生产过程中取得优异成绩的人的理想包装。
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