二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311031 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款强大、高性能的扩散炉及相关配件。它设计用于通过退火、CVD、氧化等集成工艺高产制造半导体器件。该设备非常适合各种半导体器件应用，如互连、浅沟隔离、MOSFET和新兴器件制造。TEL ALPHA-303I具有三区配置,可实现高性能、易于操作和可扩展性,以满足客户需求。其顶部和底部石英炉管各分为两个独立运行的独立区。该系统还配有感应加热底区，促进统一的温度控制，以达到最佳工艺和屈服效果。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还配备了多种控制系统,以确保安全性和准确性。它采用钝化发射器接触（PEC）控制器,用于集成腔室压力控制.这样可以最大程度地减少加热膜的背面附着力。TEL ALPHA 303 I的高级设计还促进了可重复的流程,并提供了在稳定环境中优化的流程可重复性。除此以外，该炉还配备了自动清洗装置，可快速交换气体，减少残余气体与加热膜的化学反应。另外还有一个气体分析装置，用于方便地监测炉内存在的气体，从而有助于确保最佳工艺条件。此外，一个可选的废气处理单元可以连接到顶部区域。最后，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I具有宽广的温度范围能力，提供高达1150°C的温度。它还提供了诸如压力安全阀、用于顶部管的除尘器和用于底部管的冷却工作支架等创新。这使得它适用于对工艺参数的精确控制、高吞吐量和先进产量至关重要的多种应用。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I扩散炉是一种高效的机器，有利于高产设备的制造。它具有三区配置、宽广的温度范围和各种控制系统，确保安全和准确性。这些特性使我ALPHA-303成为各种半导体器件应用的理想选择。