二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9350835 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种用于半导体制造的最先进的扩散炉。它被设计为进行热氧化，这是集成电路制造中必不可少的过程。这种强大可靠的熔炉最高温度为1350 °C，可以容纳直径达8英寸的晶片。TEL ALPHA-303I由耐高温氧化变形的优质材料制成。具有精确的温度控制和稳定的均匀散热特性.内置惰性气体供应设备也消除了氧化过程中的氧气污染。这保证了良好的薄膜均匀性和显着提高的产量。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I提供了广泛的过程控制功能。它具有数字控制器、报警器、传感器和反馈系统,可确保持续执行过程,即使在电源不足或组件出现小故障时也是如此。腔室由单件不锈钢制成，维护有效，可靠性高。其氧化规格在原始晶圆规格的0.5%以内。该炉还提供一些配件，以提高生产效率和成本效益。这包括两个额外的输送机，每个输送机的晶圆容量为3,000，以及一个自动装载单元。自动装载机具有RFID读取器、温度监视器、速度调节器和晶片支架，用于精确的可编程放置。TEL ALPHA 303 I是一种高性能的扩散炉，提供易用性、卓越的可靠性和精确的温度控制。其结合的配件使其成为大规模生产的理想之选。TEL Alpha 303i具有可靠的设计和卓越的性能,是制造可靠、高性能集成电路的理想选择。