二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353372 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款具有多种特性的扩散炉及配件设备，是半导体行业人士的理想选择。TEL ALPHA-303I包含三个较小的熔炉，称为"模块"，一个先进的控制系统，以及各种支持系统，设计用于半导体制造过程中铝互连的气相沉积和退火。有了直观的HMI（人机接口），操作员可以从网络内的任何终端快速轻松地设置和控制TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I。模块化的设计使得它具有令人难以置信的灵活性，允许定制而无需购买额外的设备；用户可以从专用模块中进行选择,每个模块都提供制造各种尺寸和复杂程度的集成电路结构所需的确切规格。扩散、预炉和后炉这三个模块完全可以互换，可以随着时间和技术的进步而升级。通过将三个模块作为一个单元进行控制，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I提供了几个优于传统系统的优势。每个模块的自动化和优化、流量气体的调整以及所有组件的监控性能使这台机器既可靠又高效。此外,TEL ALPHA-303 I能够控制同一工具中的三个不同模块,从而增加了流程灵活性和成本节约。配备多个传感器的TOKYO ELECTRON ALPHA-303I可以精确监控和记录任何工艺参数，使用户可以轻松实时分析性能，保持最佳工艺条件。该设计还采用了腔室温度均匀性（CTU）控制资产,该资产可自动补偿扩散腔室表面温度的任何变化,从而显着提高热均匀性,从而获得更多可重复的结果。ALPHA-303I的先进设计还允许与多种其他系统和组件集成，如质量流量控制器、气线和真空系统。这允许用户自定义模型，以便在不牺牲可重复性或屈服的情况下从扩散过程中获得最大性能。Alpha 303i是一种耐用、可靠的扩散炉和附件设备,它结合了性能、效率、灵活性和成本节约,使其成为大容量半导体制造的经济高效解决方桉。