二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353373 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9353373
晶圆大小: 12"
Furnace, 12" Poly cure.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款高性能扩散炉及配件,设计用于多种制造及实验室应用。该设备是为半导体生产制造小型复杂结构的先进设备,特别是CMOS、BiCMOS和BiMOS设备。TEL ALPHA-303I的长度为82英寸(2.1米),高度为43.3英寸(1.1米),使其成为一种大型但空间效率相对较高的设备。它重达5装水吨,包括32位水带卡盘、后伸缩室、双旋风旋风再循环系统和净化器离心分离器。扩散炉前后装有多个载流子,可同时容纳多达五个晶片和一个大气排气单元,以营造受控气氛。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I通过可编程的高速加热器和独立的水壶操作,提供卓越的加工效率和吞吐量。它包括一个用于精确温度控制的多光谱控制器、一个实时监视器、一个用于安全操作的真空互锁机以及一个自动响应不安全条件的紧急关闭开关。该模型的高级设计还允许用户在操作过程中评估卤素浓度和调整工艺参数。ALPHA 303 I优越的性能和设计使其成为半导体加工的理想选择。这种最先进的扩散炉及其附件提供精确的温度控制和高通量,以确保各种设备中复杂结构的可靠制造。这款先进的工具具有直观的控制器、紧急停止开关和自我诊断资产,使其成为可靠、高效、精确的半导体生产和研究的热门选择。
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