二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9373070 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种扩散炉及其附件，由四个部件组成：加热室、负载锁定室（LLC）、排气泵和排气设施。加热室由氧化铝管、高耐热石墨材料、高绝缘云母组成。腔室内部装有钼气绝缘，以及氧化铝车身和氧化铝窗。同时，LLC用于减少样品在室内停留所需的时间。该腔室采用交流电，由三相发电机提供动力，并包括一个内置气体净化器，允许高效气体流向样品腔室。排气泵有助于控制加热器室内的温度，允许样品缓慢加热和冷却。排气设施包括风扇马达、空气清除过滤器和排气管。排气设施用于在加热器室使用期间保持室内的通风条件。所有组件均由计算机监控和调节,从而能够有效、精确地控制炉内的温度和压力。TEL ALPHA-303I还具有更强的灵活性和更大的温度范围。凭借卓越的性能,TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I旨在满足包括半导体制造商在内的一系列企业最苛刻的要求。