二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9381867 待售
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ID: 9381867
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
LP-CVD Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VMM-56-306
FUJIKIN Air valve
Gas: SiH4 / SiH2Cl2 / N2O
Power requirements: Three Phase, AC 440V / Single Phase AC 208V
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i扩散炉及配件是最新的尖端工具,旨在提升半导体厂商的能力。该装置采用三区炉设计,在整个炉的范围内创造可重复、可预测和一致的温度。TEL ALPHA-303I集成了微处理器控制、可编程的电源和分叉的从动臂,提供了标准炉设计中所没有的精确度和精确度。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I扩散炉及配件也提供卓越的控制和自动化.内置显示器提供易于阅读的消息和自定义选项,以帮助管理温度、周期时间等。直观的控制面板允许技术人员根据具体的设备参数和应用要求定制他们的炉子参数。分离的温度控制允许技术人员独立控制不同区域的温度设置。ALPHA-303 I旨在有效覆盖大区域。气体流动分布的广泛覆盖范围和精确控制使得较大晶圆的熔体均匀。内置的超快速冷却功能允许用户在高能和低能配置文件之间快速切换,从而无需等待冷却周期。该设备还能够满足小规模生产要求以及大规模、连续生产运行。TEL ALPHA 303 I扩散炉及附件还具有优良的安全系统.自动调节的温度和气体流量有助于保护操作员免受潜在危险情况的影响。物理安全门配有传感器,以提醒技术人员注意打开的情况。同时,可编程安全协议可以防止未经授权的访问和操作。总而言之,TELTEL ALPHA-303 I扩散炉及附件是一种极其可靠和安全的设备,可提供一致的性能和出色的控制水平。通过实时查看温度数据,并提供可靠的熔融保护,TEL Alpha 303i为生产、工程和研发设施提供了绝佳的选择。
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