二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9383406 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种高度先进的半导体製造工具，涉及扩散炉及附件。该工具提供了最新的高端技术来生产性能先进的半导体。TEL ALPHA-303I工具具有先进的熔炉和配件，使其成为先进半导体生产过程中的可靠工具。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I扩散炉的设计旨在提供精确的计量和控制均匀性和非均匀性部件的温度和通量。该炉采用强大的辐射监测和高等级控制热退火技术，可实现卓越的工艺控制。高纯度石英原位炉提供先进的晶圆均匀性，以及精确控制扩散参数的集成封装。使用各种监测系统精确监测和维持扩散温度。ALPHA-303I还采用了具有精确闭环晶片控制的通用夹具系统，以提高晶片放置精度。UCS可以存储晶圆尺寸并自动校准每种尺寸的参数。UCS还协助优化和标准化晶圆在多个基板上的放置。该工具还具有重要的安全特性，以便在搬运和装载基板时能够安全操作。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还附有扩散过程所必需的多种附件，如高温计、氮气单元、洗涤器、加热器/预热器、敏感器和热排气。高温计用于监测和维护扩散参数，而氮气单元则用于在扩散过程中冷却底物。洗涤器用于清洁薄膜表面并限制接触污染。磁感器用来容纳氧化和分解产生的薄膜。热排气用于将扩散过程中产生的任何气体排入适当的收集区域。TEL ALPHA 303 I是一种高度先进的工艺制造工具,它提供了生产半导体所必需的各种特性和配件。由于能够同时承受均匀性和非均匀性部件,ALPHA-303 I提供了精确的扩散参数控制,这是实现卓越工艺控制所必需的。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I集成的最新高端技术确保该设备在可靠的工具平台中提供卓越的性能。