二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9384277 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种带有相关配件的扩散炉，旨在提高制造过程的效率。其先进的技术利用PID控制热区TM技术，将间接气体加热、直接电加热和逐区温度控制算法革命性地结合起来，提供了一个最优且可重复的扩散过程。TEL ALPHA-303I设有一个四区水平循环室，可精确控制每个区的温度。这样可以精确控制产品温度、温度均匀性和维间温差。HRC还帮助在整个扩散过程中保持均匀加热，以确保优质的最终产品。HRC工艺还减少了基材上的热负荷，有助于最大限度地减少工艺过程中的损伤。PID Controlled Heat Zone TM技术与可变气体成分源室相结合,使用户能够为每个组件选择最佳沉积参数。这有助于最小化流程步骤时间并最大化产量。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I也允许在扩散室中引入特殊气体，以增强扩散过程，如掺杂剂和蚀刻剂。TEL ALPHA 303 I有一个集成的气体线路路由和净化系统，它使用户能够使用一个腔室访问所有扩散气体，从而使设置和转换变得更简单、更快。该系统还提供实时、固有的气体纯度监测和警报，防止出现有害的市场缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I附有直观的使用者介面，让使用者可以监控整个扩散过程，从设定到完成。通过这个界面，用户可以访问信息，如气体浓度和温度，并根据需要进行调整，以达到预期的效果。总体而言,TEL ALPHA-303 I是一种先进的扩散炉,具有许多功能,使其用户能够提高制造过程的效率。通过PID控制热区TM技术、腔室设计和用户界面的结合，ALPHA-303I是一种可靠、用户友好的扩散炉。