二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9398273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种高性能扩散炉，用于终端氧化和CVD的精密设备。该装置专为生产半导体器件而设计，包括动态随机存取存储器（DRAM）、闪存和微电子器件制造。这种扩散炉具有许多特点，例如温度均匀度± 2°C，精确的温度控制，指向精度± 1°C，温度范围宽200 °C-1200 °C。此外，它有一个轻巧和紧凑的晶圆加热碗设计与弧形，使快速晶圆加热。再者，TEL ALPHA-303I配备了多气体码头、气体面板和其他外围仪器等各种配件。它还与TEL手套箱集成在一起，以实现晶圆的有效处理、工艺供气和真空产生的控制。此外,字母表汤边工具还可以使加工部分的边缘轮廓平滑。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还配备了设备控制器，可以方便可靠的操作和监控。这包括直观的操作员界面和能够自动检测错误的自我诊断系统。它还有一个高压关闭装置，用于保护晶片免受超压造成的损害。最后，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I由直流偏置机供电，允许处理FinFET器件。总而言之，TEL Alpha 303i是一种强大可靠的扩散炉，非常适合制造半导体器件。它提供了高度的温度均匀性和准确性，以及各种配件易于操作。