二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9412408 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种扩散炉及附件单元，用于薄膜沉积、分批处理、单晶片处理。该单元非常适合在硅、氧化物、氮化物等各种基板上制造薄膜。它高效、经济高效，能够生产高质量的胶片。TEL ALPHA-303I由扩散炉、晶片盒和负载锁室三个基本部件组成。扩散炉是一个充满高温气体的密封室，如惰性气体、氨和氢气，达到极高温度。这既用于蒸发材料，也用于将其沉积在基材上。晶圆盒最多可容纳54块2英寸的基材，负责向炉子供应材料。载荷锁室用于快速将基板转移到晶格中而不受污染。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配置了许多先进的功能，包括多区温度控制器、基板加热设备、石英淋浴头和强大的陶瓷红外对流加热器。多区温度控制器允许温度精度和控制整个腔室，而加热系统调节基板的温度。石英喷头提供了均匀分布的气体在基板上，有助于提高沉积膜的均匀性。陶瓷红外对流加热器确保了基板的精确和一致加热，并使用户能够完全控制薄膜的厚度和组成。这一单元还配备了一个安全单元，旨在保护操作员免受危险情况的侵害。它有一个内置的防止未经授权进入的安全机器和一个压力控制工具来监视扩散室内的压力。此外，Alpha 303i还有一个监测资产，用于测量扩散炉内部的温度、压力和其他参数，以及反映医疗气体和排气系统，以促进设备的安全和高效运行。ALPHA 303 I是一种强大、可靠、可维护的扩散炉及附件装置。它提供了精确的温度控制和自动化的工艺，以生产高质量的薄膜的广泛的基材。它具有多种先进的特点，是研究和商业应用的理想选择。