二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293594535 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是由TEL开发的扩散炉及相关配件。它旨在支持高级沉积应用。这款高端设备包括一个2级、区域控制炉、一个独立的工艺室，以及一个高级软件控制包都在一个包中，用于集成处理解决方桉。TEL Alpha 8提供高达2500 °C的高温加热范围，过程控制精度为10：1。炉子配有强大的"跨级"温控套件和可完全调节的氧气传感器，保证整个腔室的均匀性。此外，该系统还提供多种气流控制模式和碳化硅绝缘，确保了快速、均匀的循环时间和优异的可重复性。随附的工艺室提供耐腐蚀、低维护操作和高级工艺控制。该装置还提供自动化材料装卸、真空水平调节器、惰性气体设备包、惰性气体压力调节器和惰性气体歧管，用于原位和异地加工。此外，TOKYO ELECTRON Alpha 8提供了一个可定制的软件控制软件包，提供对所有主要工艺参数的全面控制。这包括一个功能齐全的用户界面,其中包含图形显示,以便于模拟、参数调整以及针对意外情况的恢复选项。该机器还包括一个先进的数字数据采集包，用于现场监测和自动调谐。综上所述，Alpha 8是一个强大的扩散炉和相关附件包高端沉积应用。它提供了一个大的温度范围，精确的控制包，和一个完全可调氧气传感器，以确保整个腔室的均匀性。该工艺室提供耐腐蚀、低维护操作和自动化材料装卸。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8还配备了功能强大的软件控制软件包,可全面控制所有主要工艺参数。