二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293637527 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8
ID: 293637527
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Furnaces, 8" 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是专门为制造半导体晶片而设计的尖端扩散炉及配件系统。与其他型号相比,它具有卓越的均匀性、温度稳定性和生产吞吐量。TEL Alpha 8是一款多区域工艺模块,具有清晰的6英寸照明腔室,是业内最大的。这种高能见度有助于对扩散过程进行最佳的观察和取样。TOKYO ELECTRON Alpha 8具有多项高性能功能,包括高级控制器和专用远程PC,旨在驱动均匀性和减少循环时间。其先进的多区工艺模块具有八个独立控制的炉区,以及最先进的送电技术,快速达到满负荷的造价。它的大腔室还允许更大的工艺灵活性和方便地添加额外的工艺模块的能力。Alpha 8的嵌入式控制器包括直观的界面、易于维护的指示器和广泛的日志记录功能来监视流程参数。它还包括各种各样的程序,让用户可以轻松控制温度、压力、真空等各种过程变量。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8的尖端配件进一步提升了扩散过程体验。其冷安装板和自旋蚀刻器便于快速和方便的更换,而其石英船和托盘确保均匀残留和清洁。其惰性气体输送系统改善了颗粒控制,为用户提供了更大的安全性。TEL Alpha 8是寻求卓越均匀性和吞吐量的企业理想的扩散炉及附件系统。其宽大的发光腔室、强大的控制器和出色的配件范围使其成为半导体晶圆制造的首选。
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