二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293816668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一种高性能扩散炉，设计用于支持最先进的MEMS材料加工技术。它具有卓越的均匀性、卓越的均匀性和卓越的可重复性，可提供超高质量的MEMS设备。此型号的负载容量可达8英寸宽,可实现广泛的应用。其精心设计由多层保护层构成，从石英玻璃管结构开始，一直到特殊涂层的不锈钢内室。这保证了（1）室内温度的极佳均匀性和（2）最佳氧化控制和均匀温度分布的优越气流特性。此外，在炉膛周围设置了高保护性的陶瓷绝缘层，以增加安全性。该炉可作为水平或垂直加工室操作。其紧凑的设计和可拆卸的设计使得在任何操作区域的安装和设置变得容易。一种低气味、环境友好的单相卤素制冷剂用于保持室内温度随时间的精确稳定。与传统的扩散设备相比,TEL Alpha 8性能卓越,能耗显着降低。这是由于其先进的PID技术允许精确的温度控制而得以实现的。此外，多级温度控制系统能够准确控制炉内扩散特性，同时保持所需的坡道速率。该炉还具有其他功能，如内置热敏传感器，用于监测气体压力和均匀性。它还包括一个用于精确温度测量的红外高温计。因此，TOKYO ELECTRON ALPHA-8扩散炉能够保证优越的产品质量，提高产量，经济生产MEMS。