二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9071279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一种扩散炉及附件，为薄膜沉积作业带来最高效、最经济的性能。TEL Alpha 8具有全方位的高级工艺功能和革命性的控制体系结构,使炉子的设置、调整和监控比以往任何时候都更加轻松和高效。符合人体工程学设计和直观的软件使操作员能够快速准确地调整参数、程序和访问数据。专有的低排放设计提供了一种清洁、高效的炉子，能够生产出一致的高质量产品。TOKYO ELECTRON ALPHA-8有一个宽敞的房间，可以容纳四个直径达2英寸的晶圆和大基板。宽敞的设计为调节甜甜圈来源和位于室内的其他元素提供了充足的空间。对于快速热处理（RTP）应用,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8的高温能力最高可达1275 °C,在静态应用中最高可达550 °C。双壁结构提供出色的墙壁之间的绝缘，防止热量损失和最大温度均匀性。受热室配有用于将反应物引入系统的蒸气源，此外还有一个获得专利的三向关闭阀，可确保该室可以随时隔离和清洗。ALPHA-8的温度均匀性是通过先进的排气系统保持的，该系统可根据各种沉积技术进行调整。内置的数据记录系统允许操作员查看过去的数据以调查麻烦的参数或进行过程调整。可以将参数、程序和设置保存到存储卡中，使用户可以快速轻松地将程序信息传输到多个TOKYO ELECTRON ALPHA 8单元。利用板载电阻率计提供关于胶片电阻的反馈,允许用户跟踪过程条件中的变化,并在需要时即时调整设置。为确保最佳生产效率,TEL ALPHA-8配备了多区域控制器,可通过一个控制器控制多个区域。Alpha 8为用户提供了一些可选的附加功能，例如用于角度沉积的旋转晶片感光器、用于观察薄膜沉积的石英查看器窗口以及用于RTP应用的离子源。所有这些功能都提供了满足各种需求和流程的高级功能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8为使用者提供先进可靠的扩散炉及配件，以满足他们所有的沉积需求。TEL Alpha 8是一款经济安全的选择，具有直观的特点、先进的控制架构、多区域控制、出色的温度均匀性。