二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9243886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一种扩散炉和相关配件，专门设计用于支持超大规模集成（ULSI）电路制造。这种最先进的集成工具集采用了一系列先进的技术，如多气体输送设备、快速热处理和多区热壁炉。凭借这些和其他功能，TEL Alpha 8是创造尖端ULSI技术的有效工具。TOKYO ELECTRON ALPHA-8扩散炉具有加热区设计，最多可容纳8个装载槽，以容纳大尺寸晶圆。多气体输送系统提供多种气体（如N2、O2和SF6），以便清洁炉子和晶圆表面，以及支持掺杂和扩散。该气体单元由专有算法控制，以确保最均匀、最精确的气体分散。该炉利用快速热工艺快速退火，活化，吸入和扩散材料在晶圆表面上。这种先进的工艺可以显着减少工艺时间，同时增加均匀性、重复性和产量。为了进一步加强这一过程，TEL ALPHA-8还采用了多区热壁炉，在给定区域内将热量均匀地分配给晶片。这样可确保整个表面的温度均匀性一致。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8是一种高度先进的扩散炉和附件套件，可以帮助制造商以前所未有的速度和精度创造ULSI技术。其多气体输送机、快速热处理、多区热壁炉提供优越的性能和无与伦比的均匀性。随着TOKYO ELECTRON ALPHA 8，公司有一个集成的工具集，让他们在现代ULSI制造的边缘。