二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9373152 待售
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ID: 9373152
Furnace, 8"
Process: Alloy
I/O Port
(126) Process wafers
No load lock
25-Carrier slots
Boat type: Single
PS4100Z Controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart: Front and rear
M120 Temperature controller
Controller transformer: 208 V, Single phase
Heater transformer: 208 V, 3-Phase
Gases:
Gas 1: PN2
Gas 2: FO (4%, H2/N2)
Gas distribution:
Basic style: Conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Air operated valve: FUJIKIN
AERA MFC
No cold trap
No pump line
Exhaust distribution:
Air operated valve type: VCR Connect
Main valve: FUJIKIN
Wafer / Cassette handling:
No wafer alignment
(16) Cassette storage
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer
Fork material: Ceramic
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: VMM-35-001
(5) T/C Type
(5) Spike T/C.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是最先进的扩散炉及配件，非常适合小型工程、材料科学及微电子应用。它结合了高吞吐量、可靠的生产和卓越的性能,以满足最苛刻的要求。TEL Alpha 8采用四区水平源和先进的晶圆带设计。这种设计可提高每小时36个晶圆的吞吐量,而且过程时间长。它具有面板视图操作和10英寸彩色触摸屏,用于监视和控制所有系统参数。该单元可编程为根据不同的工艺条件自行调整，使校准速度快、精度高。TOKYO ELECTRON ALPHA-8在1045摄氏度的最高温度下运行，并具有双固态射频加热系统和多个气源，用于精确的温度控制。它还提供了一个惰性气体波导系统，使它能够同时加热和冷却腔室。内置的安全功能包括微机控制的联锁、压力监测、温度监测以及特殊的低温紧急停止系统。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8具有广泛的附件,例如气体面板、压力控制器、过程监视器、数据记录器以及单独的扩展器和加载单元。还可以使用加热的样品负载锁，从而使温度从一个过程快速过渡到另一个过程。该装置的设计符合国际上最严格的安全要求，旨在经受住日常磨损。总体而言，对于需要安全可靠的扩散炉的研究人员和工程师来说，Alpha 8是一个极好的选择。它为各种材料科学和微电子应用提供卓越的性能和精确控制，其精密的操作和独特的设计特点使其成为当今市场上领先的熔炉之一。
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