二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9387936 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一种单晶片、批量操作、扩散炉设备。该系统旨在为二极管、晶体管、集成电路等半导体器件提供高性能的金属沉积、氧化和退火工艺。该单元采用多合一设计,能够处理从100 mm到300 mm的各种晶圆类型和大小。设有高温带、高速对流带和孤立的独立控制区。这台机器还包括一个可编程预热区、一个用于提高热稳定性的低温区以及一个用于快速维护和清洁的清洁就地CIP工具等功能。炉子还有一个数字显示屏，读出温度、压力和气体流速数据，便于全程监控晶圆。TEL Alpha 8还具有高级软件,可用于在不影响资产性能的情况下轻松扩展或修改流程参数。凭借其先进的功能，TOKYO ELECTRON ALPHA-8为关键过程提供了出色的均匀性和可重复性，使其成为研究和生产环境的绝佳选择。