二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9412409 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8
ID: 9412409
晶圆大小: 8"
Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一种最先进的扩散炉,设计用于执行氧化、退火和扩散等热过程。它可用于多种工业应用,如半导体器件的形成、薄膜沉积、电子元件的包装以及掺杂剂和污染水平的控制。TEL Alpha 8采用模块化设计,允许定制和扩展功能,并在必要时便于维护和维修。炉子本身具有高性能的石墨绝缘,使其耐散热,并配有双端隔热管,提供优异的传热和低温的基温。它配备了高速风扇,有助于保持整个炉子的均匀温度,以及气动间隙密封设备,用于安全密封炉子,防止任何烟雾或气体泄漏或排出。TOKYO ELECTRON ALPHA 8还配备了多种可访问的配件,包括Sensector Cartridge, Crucible, Implantation Pin Assembly, and Heater Pack。Susceptor Cartridge在装入炉中时用于容器化样品,而Crucible则设计为与液态的Silicon和Germanium一起使用。植入针脚组件用于固定灯丝、口罩和植入针脚,加热器组件用于监视和控制炉温。Alpha 8具有高级控制功能,如真空沉积过程控制系统(VDPCS)和配方模式控制单元(RMCS)。VDPCS监视工艺条件和温度,允许自动控制工艺和一致的结果。RMCS使用户能够保存、重用和修改流程配方,从而可以随着时间的推移改进和改进结果。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8有一个整体粒子监测机,有助于检测和测量过程中可能造成污染的粒子。这对于高精度工艺尤其重要,因为它可确保制造零件的质量和准确性。总体而言,TEL Alpha 8是一种优质扩散炉,其附件提供了一系列可以满足各种工业应用需求的选项。其先进的控制能力、出色的传热工具和绝缘材料,以及易于访问的组件,使其更加可靠和方便用户。
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