二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #293608657 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C是一种扩散炉及其附件，旨在提高各种工艺的效率和质量。这个特殊的封装具有100 kW的优化电源,为高产量提供更可靠和精确的控制,以及两台波长范围为0.3至5 µm的高灵敏度光学高温计,可实现精确的温度设置和工艺测量。额外坚固的基础框架结构可以提高操作过程中的安全性和稳定性,而基于AI的温度控制设备有助于确保最精确和一致的工艺条件。此外，该套件还包括两个泵送系统，以改进对低真空、扩散和CVD工艺的控制。对于其操作，TEL Alpha 801C配备了一个控制器单元，以支持各种操作模式和设置。这可用于设置最高温度和跟踪间隔,以及保持精确的温度范围。它还设计用于自动检测部分设备故障,确保在生产过程中最小停机时间。控制器还带有预编程参数设置,可以根据不同的进程进行定制。标准包装还配备了质量保证模块，用于在加工前后测试和监控晶圆表面。这是为了确保交付最高质量的产品，并消除灰尘和金属碎片等污染物。它包括自动质量保证功能，以便在加工后和晶圆转移前准确地可视化表面污染物。最后，TOKYO ELECTRON ALPHA 801C设计为提供方便的维护和清洁，以减少生产过程中的停机时间。有几个功能使清洁和维护能够快速高效地处理。这包括易于维护的过滤系统、便于拆卸和更换部件的锁定单元、用于隔离和排水部件的排水阀和腔室,以及在机器运行过程中清洗机器的自动洗涤系统。简而言之，Alpha 801C是一种经过优化的扩散炉及其附件包装，旨在确保在广泛的生产过程中达到最高精度和效率。它包括最新的控制器单元、质量保证和维护功能，以及两个用于精确温度和过程测量的高灵敏度光学高温计。