二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #9396147 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C是一种下一代扩散炉和辅助设备，专为渴望移动到高级节点的FB而设计。它在晶圆制造中提供了先进的微处理技术和无与伦比的性能水平，使其成为铝金属化和其他各种工艺中最困难的任务的理想选择。该系统能够制造高质量、极薄、尺寸控制严密、密度高的薄膜。这是通过先进的扩散工程、超大气流和温度均匀性实现的。TEL Alpha 801C还设有大型石墨船和预热区。TOKYO ELECTRON ALPHA 801C配备了强大的自动化控制装置,可确保出色的性能。这样,用户就可以在速度和温度不均匀之间取得理想的平衡,同时确保过程条件始终处于控制状态。中央控制单元展示了具有远程诊断功能的大型技术显示屏，使得访问、监控和控制过程非常容易。Alpha 801C还具有一系列卓越的安全和预防性维护功能。它具有超灵活的平台,可轻松集成到任何标准流程中。有效的泄漏检测机器可确保最大限度地防止高温事故。还对加热元件进行监控，以避免过热时造成不必要的损坏。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C配备了一系列先进的气流和温度均匀性能力。可变流量功能允许用户保持给定的气流,而与刀具压力无关,从而在过程运行期间提供更高的均匀性。资产还包括一个通用的温度控制选项，以确保精度和精确度。总而言之，TEL Alpha 801C是一个出色的扩散炉和辅助模型，旨在满足先进节点的严格工艺要求。它提供了高水平的性能和卓越的统一性。其直观的控制设备、集成的安全性和预防性维护功能使其成为任何希望进入高级节点的晶圆厂的绝佳选择。