二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #149843 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一种扩散炉及配件。它用于包括半导体制造和研究在内的广泛行业，在各种基板上沉积光学、电气和热层。它专门设计用于同时处理多种类型的材料，协助生产复杂的设备。TEL Alpha 801D是一种垂直扩散炉，带有负载锁和侧壁构件，使其成为一个真正的多合一包装。其石英石英工艺管（QPT）是为高温而设计的，允许非金属和金属材料的扩散，具有极好的均匀性。该工艺室还配备了六区空腔加热设备，即使在大批量产品运行期间也能提供均匀的温度。此外，利用样品更换能力和流量控制系统可以在整个处理周期内实现良好的热均匀性。该炉由温度传感器和控制器构成，可向用户提供有关加工室温度条件的实时数据。此数据可显示在控制器的液晶屏上或通过随附的SCADA软件显示。该炉还配有一个集成气体输送系统，能够以自动化方式引入反应物气体，并配有一个可选的安全控制器单元，确保安全运行。TOKYO ELECTRON ALPHA 801D可以容纳多种类型的底物，从2"到8"方块，可以用可选的底物处理机处理。它还配有一种沥青密封剂，用于更好的密封，允许更高温度的扩散，而不会有泄漏或微裂纹的危险。Alpha 801D是一种功能强大、用途广泛的工具，不仅能够准确生产扩散层，还能进行高精度的热处理。其均匀的温度分布、高温作业、可靠的变样工具和集成的气体输送资产，确保了金属层在各种基板上的可靠准确沉积。